一、產(chǎn)品介紹

用于掃描電鏡（包括電子探針等）儀器主要性能的校驗(yàn)和檢驗(yàn)，如圖像的放大倍率檢驗(yàn)與調(diào)整、掃描圖像畸變的調(diào)整、像散調(diào)節(jié)以及樣品臺(tái)的復(fù)位檢驗(yàn)等。該標(biāo)準(zhǔn)樣品也是掃描電鏡微米納米長度精確測量的最佳標(biāo)準(zhǔn)樣品、是微米長度測量的最高可溯源級(jí)別的量值傳遞工具。是多個(gè)國家標(biāo)準(zhǔn)文件GB/W 27788、16594、17722、20307、JJG550等實(shí)施所必需的標(biāo)準(zhǔn)樣品。

二、標(biāo)準(zhǔn)樣品用途

1、可用于同時(shí)對任意兩個(gè)垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進(jìn)行檢查或校正，是校準(zhǔn)從10×~100,000×范圍的圖像放大倍率的最有效的圖形標(biāo)準(zhǔn)樣品。

2、可用于對圖像的X、Y方向上的畸變和邊緣的畸變進(jìn)行校驗(yàn)，是評價(jià)掃描電鏡圖像質(zhì)量的個(gè)重要工具。

3、可直接用于同一量級(jí)物體長度的精確比對測量。

4、對樣品臺(tái)傾斜角和電子傾斜以及旋轉(zhuǎn)調(diào)整功能的檢驗(yàn)也有較好的作用。

5、利用標(biāo)樣上的“點(diǎn)子”圖像，可對電子束作漂移檢驗(yàn)和樣品臺(tái)復(fù)位檢驗(yàn)。

標(biāo)準(zhǔn)樣品基質(zhì)材料為單晶硅或石英玻璃基片，材料性質(zhì)穩(wěn)定。在對標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行觀察時(shí)，可看到標(biāo)準(zhǔn)樣品具有良好的導(dǎo)電性，并且在掃描電鏡下所產(chǎn)生的圖形具有很好的對比度，在掃描電鏡下或光學(xué)顯微鏡下進(jìn)行多次長時(shí)間的觀察后，未見標(biāo)準(zhǔn)樣品圖形或線距結(jié)構(gòu)發(fā)生變形或其他損壞，即標(biāo)準(zhǔn)樣品在電子束重復(fù)照射下是穩(wěn)定的。

四、標(biāo)準(zhǔn)樣品均勻性

本系列標(biāo)準(zhǔn)樣品的片內(nèi)線距均勻性由德國聯(lián)邦物理研究所(PTB)使用一臺(tái)大范圍計(jì)量型掃描力顯微鏡( M-LRSFM進(jìn)行測量，40μm、20μm、10μm和5μm的線距結(jié)構(gòu)的相對標(biāo)準(zhǔn)偏差分別為<0.15%、<0.25%、<0.3%、<0.5%和<1%；片間線距的均勻性送國家有色金屬及電子材料分析測試中心掃描電鏡實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行檢查，隨機(jī)取10個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品，在相同掃描電鏡工作條件下獲取每個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品上每種線距結(jié)構(gòu)的圖像，在每個(gè)圖像上的不同位置取若干個(gè)線距周期測量4個(gè)長度數(shù)據(jù)，其測量結(jié)果標(biāo)準(zhǔn)偏差分別為：<0.39%、<0.19%、<0.21%和<0.19%，S1000微米一亞微米級(jí)系列標(biāo)樣，總體為5mm×5mm×0.5mm(長×寬×厚)大小的小方塊。

五、操作使用

使用前應(yīng)認(rèn)真檢查標(biāo)準(zhǔn)樣品表面有無污染物和損壞，因?yàn)檫@會(huì)影響校準(zhǔn)。請勿使用已破損或有污染物的標(biāo)準(zhǔn)樣品！可用清潔干燥的空氣或氮?dú)馇宄龢?biāo)準(zhǔn)樣品上的灰塵、碎片或其他污染物，注意不要損壞標(biāo)準(zhǔn)樣品。有條件的實(shí)驗(yàn)室應(yīng)不定期地通過與其他標(biāo)準(zhǔn)樣品的對比來檢查標(biāo)準(zhǔn)樣品的特性和用法來確定其檢查頻率。

下面8張照片顯示了在不同放大倍率下的漂亮圖形和長度的絕佳精度（放大觀察，蔡司電鏡）。這再次說明，標(biāo)樣的無比優(yōu)良和掃描電鏡（電子探針）測長的有效性和精確的程度。